佰利乐沃特塞恩高性能射频电源内置高性能功放电路及高速控制模块，可通过自动频率调节（AFT）功能实时变化频率，以实现超快速阻抗匹配，同时具有高工作稳定性及精细功率调节（HALO）功能。专业应用于半导体、光伏、显示面板、等离子科研等领域
> 全数字化控制
佰利乐> 脉冲同步功能（SLP）
佰利乐> 相位同步功率（CEX）
> 低功率高精度控制（0.1W步进@<500W输出功率）
> 电弧抑制（ARC）
佰利乐> 根据负载变化自动调节频率
佰利乐> 可根据所需工艺配置软件功能
项目 | 通用指标 |
频率 | 2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz |
频率误差 | 0.005% |
额定输出功率 | 30W-6kW；50W-10kW |
功率模式 | Forward power；load power |
功率步进 | 1W（最小0.1W-低功率高精度模式，5W开始） |
功率重复性（同一电源） | ±0.5% |
整机效率（额定功率下） | 63%-6kW；60%-10kW |
散热方式 | 水冷+风冷 |
通信接口 | Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local |
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连续波
脉冲波
ICP/CCP干法刻蚀
PECVD
