佰利乐沃特塞恩射频电源内置高性能功放电路及高速控制模块，可通过自动频率调节（AFT）功能实时变化频率，以实现超快速阻抗匹配，同时具有高工作稳定性。专业应用于半导体、光伏、PECVD等领域
> 全数字化控制
> 根据后端负载变化自动调节频率（AFT）
> 脉冲同步
> 低功率高精度控制（0.1W步进@<500W输出功率）
> 电弧抑制（ARC）
> 快速适应负载变化
> 可根据所需工艺配置软件功能
项目 | 通用指标 |
频率 | 2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz |
频率误差 | 0.005% |
额定输出功率 | 5w-1.5kW/3kW |
功率模式 | Forward power；load power |
功率步进 | 1W（最小0.1W-低功率高精度模式，5W开始） |
功率重复性（同一电源） | ±0.5% |
整机效率（额定功率下） | 63% |
散热方式 | 水冷+风冷 |
通信接口 | Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local |
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连续波
脉冲波
佰利乐ICP/CCP干法刻蚀
PECVD
