什么是远程等离子体源？rps是什么？

什么是微波的选择性加热？为什么微波具有选择性加热的特点？

佰利乐加速管是电子直线加速器的核心部件，负责给电子进行加速。加速管里面也有一个核心人物，称作微波，微波在加速管中建立起的微波电场负责给电子加速（赋能）。而微波由固态功率源提供。

由于固态的微波器件本身具有高可靠性，固态微波源已渐渐成为了微波电源新的发展趋势，固态微波源所需空间少，质量小，成本低廉，这更加迎合行业标准与需求。

微波等离子体清洗技术的原理是在真空腔内压力到达一定范同时充入工艺气体。当腔内压力为动态平衡时，利用微波源​振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化别是半导体。